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大理石XY平台
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大理石平台已逐步完成在基座XYZ轴立柱横梁上的替代,大理石基座是由Z轴立柱,Y轴横梁还有底座组装连接而成的,以前用的都是铸铁材质,铸铁材质的成本高,而且加工精度还相对较低,自从大理石平台的产品技术发展成熟以后,现在越来越多的机床工作台上面的XYZ轴立柱横梁都在使用大理石平台材质进行制造加工;大理石平台的性能和精度都要远超铸铁材质的,好多自动化设备上面的组件也都在使用大理石材质的,像相机底板,结构底板,射频端立柱,抛光机底座,晶圆机底座都有在使用大理石材质的;
大理石平台和大理石基座的技术已经成型,而且还在不断的发展当中,为自动化行业的发展保驾护航;